自動勻膠臺
- 制造廠商：SUSS MicroTec
- 購置日期：暫無信息
- 型號：RCD8
- 生產(chǎn)國別：德國
- 儀器類別：工藝實驗設(shè)備
- 安放地址：上海市
跨區(qū)域科技政策：
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上海
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- 儀器詳情
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該設(shè)備具有多種類型的夾具以及多樣化的配置，能夠?qū)崿F(xiàn)各種襯底材料和形狀的光刻膠涂覆和顯影。該平臺通過裝配各種成熟的滴膠管道和泵，可以處理粘滯度小于1cps到55000cps的光刻膠。
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暫無信息
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最高轉(zhuǎn)速：10000 rpm ±1 rpm（帶安全罩），特殊要求 12000 rpm；旋轉(zhuǎn)加速度：1 – 7000 rpm/s；碗腔材質(zhì)：鍍鎳鋁；點膠臂：配備最多2條光刻膠線，每條最多2條溶劑線（可選：電動注射器）。
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電子與通信技術(shù)
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勻膠
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中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所
機構(gòu)介紹:
上海科學院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所原名中國科學院上海冶金研究所，是中國科學院所屬以信息微系統(tǒng)技術(shù)的研究與開發(fā)為主的高技術(shù)研究所，主要研究領(lǐng)域包括微電子機械系統(tǒng)、傳感器技術(shù)、無線信息網(wǎng)絡(luò)、射頻與微波模塊、光電子器件、生物芯片、新型電池技術(shù)等。該所以國家需求為導向，圍繞“電子科學與技術(shù)”、“信息與通信工程”兩大新的學科方向，利用本所在功能材料與器件研究方面的積累和微電子平臺工藝技術(shù)為支撐，以“小衛(wèi)星、微系統(tǒng)技術(shù)平臺”兩個重大項目為依托，以系統(tǒng)帶器件、器件帶材料、加強原始創(chuàng)新，加強關(guān)鍵技術(shù)創(chuàng)新與集成研究，開展集成微光機電系統(tǒng)、天地一體化通信技術(shù)與系統(tǒng)，信息功能材料與器件、微型和新型能源技術(shù)與系統(tǒng)等研究活動。中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所。
資質(zhì)能力：
