表面形貌測試儀
- 制造廠商：美國Veeco公司
- 購置日期：2001-01-01
- 型號：Dektak 6M
- 生產(chǎn)國別：美國
- 儀器類別：工藝實驗設(shè)備
- 安放地址：上海市
跨區(qū)域科技政策：
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上海
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- 儀器詳情
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臺階儀是一維的力反饋式計算機控制的表面形貌分析儀，具有臺階測試、形貌檢測和應(yīng)力分析等功能。在形貌檢測上，能夠給出一維曲線的表面粗糙度、峰態(tài)、曲率半徑等參數(shù)。應(yīng)力分析的基本測試原理是通過獲得沉積薄膜前后晶圓表面的曲率半徑差而獲得。計算機中的軟件提供相應(yīng)的曲線處理功能，如置平、平均、臺階校準(zhǔn)和應(yīng)力計算等。
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主要指標(biāo)：1． 測量的高度分辨率為0.1nm。2． 最大掃描長度3cm。3． 臺階的測量有6.5 ，65.5 ，260 和1mm四個量程。4． 測試的力載荷從1mN到15mN。
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中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所
機構(gòu)介紹:
上?？茖W(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所原名中國科學(xué)院上海冶金研究所，是中國科學(xué)院所屬以信息微系統(tǒng)技術(shù)的研究與開發(fā)為主的高技術(shù)研究所，主要研究領(lǐng)域包括微電子機械系統(tǒng)、傳感器技術(shù)、無線信息網(wǎng)絡(luò)、射頻與微波模塊、光電子器件、生物芯片、新型電池技術(shù)等。該所以國家需求為導(dǎo)向，圍繞“電子科學(xué)與技術(shù)”、“信息與通信工程”兩大新的學(xué)科方向，利用本所在功能材料與器件研究方面的積累和微電子平臺工藝技術(shù)為支撐，以“小衛(wèi)星、微系統(tǒng)技術(shù)平臺”兩個重大項目為依托，以系統(tǒng)帶器件、器件帶材料、加強原始創(chuàng)新，加強關(guān)鍵技術(shù)創(chuàng)新與集成研究，開展集成微光機電系統(tǒng)、天地一體化通信技術(shù)與系統(tǒng)，信息功能材料與器件、微型和新型能源技術(shù)與系統(tǒng)等研究活動。中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所。
資質(zhì)能力：
