橢偏儀
- 制造廠商：SOPRA
- 購(gòu)置日期：2002-06-24
- 型號(hào)：GES5FTIR
- 生產(chǎn)國(guó)別：美國(guó)
- 儀器類別：工藝實(shí)驗(yàn)設(shè)備
- 安放地址：上海市
跨區(qū)域科技政策：
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上海
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- 儀器詳情
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利用激光光源發(fā)射出單色光和紅外線，經(jīng)起偏器后變成偏振光，在樣品表面反射后，光的振幅和位相發(fā)生變化，由此來(lái)測(cè)量Si襯底上薄膜的厚度。
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1. 可見(jiàn)光分光計(jì)（UV-Visible）
焦距：750mm；標(biāo)準(zhǔn)光譜范圍：210-900nm；離差為550nm：0.45nm/mm；波長(zhǎng)準(zhǔn)確度0.04nm到313nm；在10nm的放射光下，偏離光小于0.01%。2. 近紅外項(xiàng)目（NIR 3 OPTION）
能借助分光鏡完成測(cè)量，能測(cè)的近紅外轉(zhuǎn)換光譜范圍從0.9微米到2.0微米；利用電子學(xué)和光學(xué)插件模塊對(duì)近紅外測(cè)量進(jìn)行支持。3. 紅外變角度傅立葉變換橢偏法（FT-IRSE OPTION）光譜范圍:1.44微米到17微米；光譜精確性：±0.2cm-1。 -
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中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所
機(jī)構(gòu)介紹:
上海科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所原名中國(guó)科學(xué)院上海冶金研究所，是中國(guó)科學(xué)院所屬以信息微系統(tǒng)技術(shù)的研究與開發(fā)為主的高技術(shù)研究所，主要研究領(lǐng)域包括微電子機(jī)械系統(tǒng)、傳感器技術(shù)、無(wú)線信息網(wǎng)絡(luò)、射頻與微波模塊、光電子器件、生物芯片、新型電池技術(shù)等。該所以國(guó)家需求為導(dǎo)向，圍繞“電子科學(xué)與技術(shù)”、“信息與通信工程”兩大新的學(xué)科方向，利用本所在功能材料與器件研究方面的積累和微電子平臺(tái)工藝技術(shù)為支撐，以“小衛(wèi)星、微系統(tǒng)技術(shù)平臺(tái)”兩個(gè)重大項(xiàng)目為依托，以系統(tǒng)帶器件、器件帶材料、加強(qiáng)原始創(chuàng)新，加強(qiáng)關(guān)鍵技術(shù)創(chuàng)新與集成研究，開展集成微光機(jī)電系統(tǒng)、天地一體化通信技術(shù)與系統(tǒng)，信息功能材料與器件、微型和新型能源技術(shù)與系統(tǒng)等研究活動(dòng)。中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所。
資質(zhì)能力：
