以先進(jìn)工藝帶動國內(nèi)大規(guī)模集成電路制造裝備和材料的研發(fā)，為國內(nèi)裝備研制企業(yè)的國產(chǎn)裝備、材料研制企業(yè)的新材料提供試驗、評價、優(yōu)化和工藝配套，推進(jìn)國產(chǎn)設(shè)備及材料進(jìn)入大生產(chǎn)線應(yīng)用

單位介紹

•   研發(fā)中心保持以發(fā)展與中國集成電路產(chǎn)業(yè)相適應(yīng)的應(yīng)用技術(shù)為主線，通過與產(chǎn)業(yè)界協(xié)調(diào)發(fā)展的方式獲得持續(xù)發(fā)展能力。主要業(yè)務(wù)功能包括：（1）先進(jìn)工藝技術(shù)開發(fā)和應(yīng)用，為集成電路制造企業(yè)提供先進(jìn)工藝研發(fā)和驗證的公共平臺，為高校和科研院所提供先進(jìn)的新技術(shù)研究基地；（2）為國內(nèi)企業(yè)提供技術(shù)來源及知識產(chǎn)權(quán)保護(hù)的共同支撐；（3）為國內(nèi)設(shè)計企業(yè)產(chǎn)品開發(fā)提供特色工藝模塊和IP核；（4）為國內(nèi)設(shè)備和材料企業(yè)提供先進(jìn)工藝設(shè)備和新材料的展示、評價、中試及配套工藝技術(shù)開發(fā)；（5）為集成電路企業(yè)、高校和科研院所提供人才培養(yǎng)和實習(xí)的實訓(xùn)基地。    研發(fā)中心堅持“以國際化合作建立基礎(chǔ)、以產(chǎn)學(xué)研結(jié)合集聚資源、以市場化運作獲取發(fā)展”，與一批國際著名半導(dǎo)體廠商、研究機(jī)構(gòu)保持著緊密的合作關(guān)系。研發(fā)中心已經(jīng)擁有開放式8英寸和12英寸芯片工藝技術(shù)研發(fā)平臺，并正在建設(shè)一條具有國際先進(jìn)水平的集成電路先進(jìn)工藝引導(dǎo)線，成為國內(nèi)最先進(jìn)的可與生產(chǎn)線匹配的共性工藝研發(fā)平臺。目前，研發(fā)中心已經(jīng)成為國家發(fā)改委集成電路設(shè)計服務(wù)平臺、上海市集成電路技術(shù)創(chuàng)新服務(wù)平臺、上海市集成電路制造設(shè)備和工藝材料工程化應(yīng)用工程技術(shù)研究中心。研發(fā)中心擁有一支優(yōu)秀的技術(shù)人才團(tuán)隊，并秉承“創(chuàng)新、高效、堅韌、跨越”的文化理念，正在逐步打造成為一流的集成電路公共研發(fā)機(jī)構(gòu)，以推動中國集成電路產(chǎn)業(yè)持續(xù)快速發(fā)展。

  

單位資質(zhì)

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