LPCVD(低壓力化學氣相沉積系統(tǒng))
- 制造廠商：英國Thermco Systems
- 購置日期：暫無信息
- 型號：DFS250
- 生產(chǎn)國別：英國
- 儀器類別：工藝實驗設備
- 安放地址：江蘇省
跨區(qū)域科技政策：
-
上海
-
南京宿遷淮安徐州泰州鎮(zhèn)江揚州鹽成常州無錫南通蘇州連云港
-
杭州衢州溫州臺州舟山金華紹興湖州嘉興寧波麗水余姚
-
合肥毫州六安宿州阜陽黃山淮北淮南蚌埠宣城池州滁州安慶銅陵蕪湖馬鞍山
- 儀器詳情
-
退火、氧化
-
暫無信息
-
暫無信息
-
1、常壓退火，溫度控制顯示精度全量程0.1°C；爐體外部三點控溫，各個SPIKE測量點都采用雙熱電偶，在一只熱電偶斷路時另一只能繼續(xù)完成工藝；工藝器期間，爐體內(nèi)部使用profile精確控溫模式。 2、程序控制單元，氣體/壓力控制精度±0.5%；
-
電子與通信技術
-
100片6英寸、100片四英寸基片或100片兩英寸基片退火氧化，工藝氣體N2/O2。
-
285nm?SiO2熱氧化
-
300元/小時，通氧氣時外加300元/小時
-
暫無信息
-
暫無信息
